三坐標測量儀可定義為一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸的位移測量系統 ( 如光學尺 ) 經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(X、Y、Z)及各項功能測量的儀器。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度測量、定位精度測量、幾何精度測量及輪廓精度測量等。任何形狀都是由三維空間點組成的，所有的幾何量測量都可以歸結為三維空間點的測量，因此準確地進行空間點坐標的采集，是評定任何幾何形狀的基礎。

三坐標測量儀的設備特點

1、核心零部件及軟件全部*

2、單邊活動橋式結構，顯著提高運動性能，確保測量精度及穩定性

3、三軸導軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性

4、三軸導軌均采用自潔式預載荷高精度空氣軸承，運動更平穩，導軌不受磨損

5、高速高精度自動控制系統，內嵌32位微處理器，真正實現實時控制；上下位采用光纖通訊，增強了電氣抗干擾能力